Zusammenfassung
Die Auswahl geeigneter Reinheitstechnik für den Ablauf sauberkeitskritischer Prozesse oder auch das Produzieren unter reinen Bedingungen beginnt meist mit der Auswahl geeigneter Reinräume. Zu Unrecht, denn damit ist im Allgemeinen nur ein Teilaspekt erfüllt, da zum Erfolg der Durchführung sauberkeitsempfindlicher Prozesse eine Vielzahl von Einflussfaktoren und -komponenten aufeinander abgestimmt sein müssen (s. auch Kap. 1. „Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik“). Das Fertigen unter reinen Bedingungen wird nur allzu oft mit der Bereitstellung von Reinraumtechnik, d. h. einer gebäudetechnischen Luftaufbereitungstechnik, gleichgesetzt. Die hinter einem Reinraum stehende Luftaufbereitungstechnik filtert unerwünschte Kontaminationen – meist auf Partikel beschränkt – aus der Zuluft. Dass fälschlicherweise häufig mit der Spezifikation eines Reinraums begonnen wird, liegt meist daran, dass zum einen die Bereitstellung eines hochwertigen Reinraums als Grundvoraussetzung angesehen wird und zum anderen die Qualität der angebotenen Reinräume sich anhand etablierter Regelwerke (z. B. ISO 14644-1) sehr gut spezifizieren und auswählen lässt. Stattdessen sollte das Anforderungsprofil des reinheitskritischen Prozesses im Mittelpunkt stehen, ein Vorgehen, das weit mehr als nur die Auswahl eines nach ISO 14644-1 spezifizierten Reinraums erfordert, und diesen auch auf eine geringere Prioritätsstufe der Entscheidungsfindung stellt [1].
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Literatur
ISO 14644-1: Cleanrooms and associated controlled environments – Part 1: Classification of air cleanliness (1999)
Hauptmann, G., Hohmann, R.: Handbuch der Reinraum-Praxis. Reinraumtechnologie und Human-Ressourcen, Kap. III-1, 1. Aufl. Ecomed, Landsberg (1992)
Bauer, W.: Diskussion über Produktionsanlagenauslastungen im Reinraum, INA Schaeffler KG, Industriestraße 1–3, Herzogenaurach, Stuttgart, 05.04.2004, 14.00 Uhr
Huttelmaier, S.: Diskussion über Werkstoffeinsatz für Automatisierungsanlagen der Datenspeicherindustrie, Sieghard Schiller GmbH & Co. KG, Pfullinger Straße 58, 72820 Sonnenbühl-Genkingen, Stuttgart, 18.03.2004, 10.00 Uhr
VDI 2083, Blatt 17: 2011-02 (Entwurf). Reinraumtechnik – Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen (2011)
Degenhart, E.: Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen. Springer, Berlin. IPA-IAO Forschung und Praxis, Bd. 165. Dissertation, Stuttgart, Universität, Fak. Konstruktions- und Fertigungstechnik (1992)
FhG-IPA: Fragebogen »Werkstoffe für Reinraum-Anwendungen«. http://www.ipa-qualification.com/de/umfrage/pdf/Fragebogen/-Fragebogen_deutsch.pdf, Abruf: 14.04.2011 (2003)
ASTM E2352-04: Standard Practice for Aerospace Cleanrooms and Associated Controlled Environments-Cleanroom Operations. ASTM International, West Conshohocken (2010)
ITRS: International Technology Roadmap for Semiconductors, 2007 Edition. http://public.itrs.net, Abruf: 14.04.2011 (2007)
Pfeiffer, M., Theune, H.P.: Anforderungen an Reinräume bei der Herstellung von Medizinprodukten. In: Euroforum Deutschland: Produktion im Reinraum, Konferenz, 17. und 18. Sept. 1998. Euroforum, Stuttgart (1998)
Rochowicz, M.: Auf dem Weg zur Restschmutznorm – Vorstellung des Industrieverbundprojektes „Technische Sauberkeit funktionsgestaltender Automobilteile“. In: Industrielle Reinigung, S. 2–15, 27. und 28.03.2003, München (2003)
VDA Band 19: Prüfung der technischen Sauberkeit – Partikelverunreinigung funktionsrelevanter Automobilteile.Qualitätsmanagement in der Automobilindustrie, 1. Aufl. VDA, Frankfurt (2004)
VDI 2083, Blatt 9.1: 2006-12. Reinraumtechnik – Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit (2006)
ISO 14644-8: Cleanrooms and associated controlled environments – Part 8: Classification of airborne molecular contamination (2006)
ISO 14644-9 (Entwurf): Cleanrooms and associated controlled environments – Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (2010)
SEMI E14-93: Measurement of particle contamination contributed to the product from the process or support tool. SEMI-Standardisation-Organization (1993)
VDI 2083, Blatt 1: 2005-05 (überprüft): Reinraumtechnik – Partikelreinheitsklassen der Luft (2005)
Gommel, U.: Verfahren zur Bestimmung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffpaarungen. Heimsheim: Jost-Jetter. IPA-IAO Forschung und Praxis, Bd. 445. Dissertation, Stuttgart, Universität, Fak. Konstruktions-, Produktions- und Fahrzeugtechnik (2006)
FhG-IPA: Datenbank »Tested Device«. http://www.tested-device.com (2011). Zugegriffen 14. Apr. 2011
VDI 2083, Blatt 9.2: Laufendes Projekt. Reinraumtechnik – Verbrauchsmaterialien
ASTM D5116: Guide for Small-Scale Environmental Chamber Determinations of Organic Emissions from Indoor Materials/Products. ASTM International, West Conshohocken (2010)
Zellweger, C., Hill, M., Gehrig, R., Hofer, P.: Schadstoffemissionsverhalten von Baustoffen – Methodik und Resultate. EMPA Eidgenössische Materialprüfanstalt, Dübendorf (1997)
ECA Report No. 18: Evaluation of VOC emissions from building products – solid flooring materials. EUR 17334 EN (1997)
ECA Report No. 8: Guideline for the characterization of volatile organic compounds emitted from indoor materials and products using small test chambers. EUR 13593 EN (1991)
ISO 16000-9: Indoor air – Part 9: Determination of the emission of volatile organic compounds from building products and furnishing – Emission test chamber method (2006)
ISO 16000-11: Indoor air – Part 11: Determination of the emission of volatile organic compounds from building products and furnishing – Sampling, storage of samples and preparation of test specimens (2006)
Keller, M.: Emissionen reinraumtauglicher Materialien. Reinraumtechnik. 12(3), 14–17. GIT, Darmstadt (2010)
ISO 16000-6: Indoor air – Part 6: Determination of volatile organic compounds in indoor and test chamber air by active sampling on Tenax TA® sorbent, thermal desorption and gas chromatography using MS/FID (2004)
ISO 2812-1: Paints and varnishes – Determination of resistance to liquids – Part 1: Immersion in liquids other than water (2007)
ISO 4628-1 bis -7 (2003 und 2007): Paints and varnishes – Evaluation of degradation of coatings; Designation of quantity and size of defects, and of intensity of uniform changes in appearance (2003)
VDA 278: Thermodesorptionsanalyse organischer Emissionen zur Charakterisierung von nichtmetallischen Kfz-Werkstoffen. VDA, Frankfurt (2002)
Author information
Authors and Affiliations
Corresponding author
Editor information
Editors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 2012 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Gommel, U., Bürger, F., Keller, M. (2012). Reinraum- und Reinheitstauglichkeit – Begriffe, Testverfahren, Prüfungen. In: Gail, L., Gommel, U., Hortig, HP. (eds) Reinraumtechnik. VDI-Buch(). Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-19435-1_15
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-19435-1_15
Published:
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-642-19434-4
Online ISBN: 978-3-642-19435-1
eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)