GF40 Serie
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DATENBLATT Thermische Massedurchflussmessung Elastomerdichtung, digitale, MultiFlo™ Thermische Massendurchflussmesser und -regler für Gase Die thermischen Massedurchflussregler (MDR) und Massedurchflussmesser (MFM) der Serie GF40 (mit Elastomerdichtung) von Brooks® bieten eine beispiellose Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität für viele Mess- und Regelanwendungen für den Durchfluss gasförmiger Medien. Herzstück des GF40 ist das patentierte MultiFloTM-fähige Gerät von Brooks, dass inzwischen in die 4. Generation geht. MultiFlo überwindet die bisher bestehenden Einschränkungen thermischer Massedurchflussgeräte beim Wechsel der Gasart durch konstruktive Maßnahmen. Die Genauigkeitsverluste durch die Viskositätsund Dichteunterschiede von Kalibrierungs- und Prozessgas lassen sich nicht einfach mit dem Wärmekapazitätsquotienten als Korrekturfaktor beheben. Die Brooks MultiFlo-Datenbank enthält gasspezifische Korrekturfunktionen zur Berücksichtigung der sowohl thermischen als auch physikalischen Unterschiede zwischen den Gasen, die anhand tausender Testläufe ermittelt wurden. Damit zählt die GF40-Serie zu den Massedurchflussmessern mit der höchsten derzeit verfügbaren Genauigkeit und Flexibilität. Die Massedurchflussmesser und -regler der Brooks GF40-Serie sind die perfekte Wahl für Anwendungen mit unterschiedlichen Gasen, für häufige Wechsel der Gasart sowie für Bereichsänderungen ohne Einbußen hinsichtlich Genauigkeit oder Regelgüte. Einige Beispiele: • EM und Anlagenbauer können ihren Bestand an gas- und bereichsspezifischen O Geräten reduzieren. • nternehmen im Bereich Photovoltaik, Biotech, CVD, Plasma, Glas, U Bahnbeschichtung, Nanotechnology, Vakuumverarbeitung und ähnliche Großanwender von Massedurchflussmessern und Massedurchflussreglern können ihren Bestand an gas- und bereichsspezifischen Geräten reduzieren. • enutzer in FuE, Entwicklung und Labor können die Versuchsbedingungen B schnell verändern und erhalten gegenüber konventionellen Massedurchflussmessern eine höhere Prozessgasgenauigkeit. Die MultiFlo-Programmierung erfolgt schnell und einfach: ein neues Gas und ein neuer Bereich lassen sich in weniger als 60 Sekunden programmieren. Dabei muss das Gerät nicht außer Betrieb genommen werden, und es ist auch keine Trennung vom Prozess oder dem Leitsystem erforderlich. Mit seinem robusten Aufnehmer aus korrosionsbeständigem Hastelloy C-22 ist die Brooks Serie GF40 auf einen langlebigen, zuverlässigen Betrieb ausgelegt. Einschwingzeiten unter 1 Sekunde und eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts sorgen beim GF40 auch bei anspruchsvollen Anwendungen für eine zuverlässige Durchflussmessung oder Durchflussregelung. Die Serie GF40 erzielt ihre hervorragenden Leckraten auch bei schwierigen Prozessgasen, wie sie beispielsweise bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), Solarzellen- und anderen Prozessen eingesetzt werden. Durch die große Auswahl an Steckverbindern, Dichtungs- und Sitzwerkstoffen sowie analogen und digitalen E/A-Optionen bietet der GF40 eine extrem leistungsfähige, unkomplizierte Möglichkeit zur Modernisierung einer bestehende

Diagnose-/Serviceanschluss • Unkomplizierte Diagnose und Fehlerbehebung • Unabhängig von der Gerätekommunikation Sensor der dritten Generation mit schnellem Ansprechverhalten • ervorragende H Langzeitstabilität (<±0,5 % des Endwerts/Jahr) • erbessertes Signal-Rausch V Verhältnis • Geeignet für hohe Spülraten • iedrigtemperaturbetrieb N bei Gasen, die anfällig für thermische Zersetzung sind Analoge und digitale Kommunikationsoptionen • RS485 analog • DeviceNetTM • Profibus® • EtherCAT® Magnetventil • lastomer- oder E Metalldichtungen • Geeignet für hohe Spülraten • tromlos geschlossen oder S...

Produktbeschreibung (fortgesetzt) Konfigurierbarkeit von Gas und Durchflussbereich über MultiFlo™ Die MultiFlo-Technologie von Brooks bietet eine bis zu dreimal höhere Genauigkeit bei den Prozessgasen gegenüber konventionellen Gaskonvertierungsfaktoren, die auf einem einzigen Punkt basieren. Erreicht wurde dies durch extrem genaue Kompensationsfunktionen auf Basis hochentwickelter Gasmodelle sowie umfangreicher Versuchsreihen. Dank MultiFlo lässt sich das Gerät schnell und einfach für ein anderes Gas und/oder einen anderen Durchflussbereich konfigurieren, ohne Einbußen bei der Genauigkeit...

Produktbeschreibung (fortgesetzt) Erweiterte Diagnose In einem Gasversorgungssystem bleibt der Massedurchflussregler nach wie vor eine komplexe, zentrale Systemkomponente. Dabei sollte der Ausbau des Massedurchflussreglers zur Feststellung eventueller Fehler am Regler immer nur das letzte Mittel sein. Auf diesem Hintergrund entwickelte Brooks als Pionier in diesem Feld intelligentere Massedurchflussregler mit integrierten Selbsttestfunktionen und einem unabhängigen Diagnose/Serviceanschluss. Dies erlaubt einen Zugang zu Diagnosedaten für die Fehlerbehebung ohne Unterbrechung des...

Solarzellen/CVD Für die Anforderungen von Prozessen wie Solarzellen, LWL und die Glas- und Metallbeschichtung entwickelt, bieten GF40 Massedurchflussregler eine einheitliche Plattformlösung für Diffusionsöfen, Dünnschichtabscheidung und andere anspruchsvolle Anwendungen. Dank der verschiedenen Elastomerdichtungen kann der GF40 mit einer einzigen Plattform komplexe Gasverteilungssysteme abdecken. Die MutliFloFunktionalität kann bei branchenführender Genauigkeit kostspielige Lagerbestände minimieren. Bioreaktoren in Tischausführung Brooks hat sich den Ruf als führender Hersteller bei der...

Leistung Leistung Endwert des Durchflussbereichs (N2-Äq.) -Äq.) Durchflussgenauigkeit Durchflussgenauigkeit Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit Reproduzierbarkeit Linearität Linearität Ansprechzeit (Einschwingzeit) (Einschwingzeit) Regelbereich Regelbereich MultiFlo MultiFlo Anzahl Bins Bins Schleichmengenabschaltung Schleichmengenabschaltung Nullpunktstabilität Nullpunktstabilität Druckkoeffizient Druckkoeffizient Lageempfindlichkeit Lageempfindlichkeit GF40 3 sml/min bis 50 sl/min ±1 % vom Messwert 35-100 %, ±0,35 % vom Endwert 2-35 % < ± 0,2 % des Sollwerts ± 0,5 % des Endwerts (in...