1.8 Zweidimensionales Elektronengas und Quanten-Hall-Effekt
1.8 Zweidimensionales Elektronengas und Quanten-Hall-Effekt
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<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 91<br />
<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong><br />
Ausbildung eines 2dim. <strong>Elektronengas</strong>es in → n-Kanal im MOSFET<br />
(2DEG) oder<br />
→ Potentialmulde bei<br />
Heteroübergängen<br />
typischer Potentialverlauf:<br />
→ Potentialtopf ∼ 10 nm dick;<br />
∼ Dreiecksform<br />
diskrete Energiebänder mit<br />
rein 2-dim. Bewegung in jedem Subband;<br />
falls k B T ≪ ∆E: nur Gr<strong>und</strong>zustand besetzt<br />
Zustandsdichte in 2 Dimensionen:<br />
Betrachtung äquivalent zur Herleitung der Zustandsdichte in 3 Dimensionen:<br />
Aus periodischen Randbedingungen für System das in 2 Dimensionen die Ausdehnung<br />
L besitzt:<br />
Zustände im Abstand 2π/L im 2-dim ⃗ k-Raum<br />
Zahl N(k), bzw. N(E) der besetzten Zustände bis zum (maximalen) k-Wert, bzw.<br />
Energie E = 2 k 2 /2m ist<br />
( ) 2 L<br />
N = 2 · · πk 2 = 2 · L2<br />
2π 4π · π · 2m<br />
2 · E = L2 m<br />
2 π E (<strong>1.8</strong>9)<br />
2<br />
↑<br />
Spin<br />
↑<br />
E = 2 k 2<br />
2m<br />
Damit gilt für die 2-dimensionale Zustandsdichte<br />
D(E) = dN<br />
dE = L2 m<br />
π 2 unabhängig von E (1.90)
92 Kapitel 1 Halbleiter<br />
Der <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong><br />
Entdeckung:<br />
K. v. Klitzing untersuchte 1980 die <strong>Hall</strong>-Spannung von Si-MOSFETs in hohen Magnetfeldern<br />
(B ≤ 18 T) <strong>und</strong> bei tiefen Temperaturen (T ≈ 1.5 K).<br />
Hierbei waren die n-Kanal-MOSFETs zusätzlich mit seitlich am Inversionskanal angebrachten<br />
<strong>Hall</strong>-Kontakten versehen<br />
Geometrie:<br />
Abb. 1.75: <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<br />
<strong>Effekt</strong>. Zuordnung von<br />
Geometrie <strong>und</strong> Spannung<br />
[aus Bergmann-Schaefer,<br />
Lehrbuch der Experimentalphysik,<br />
Bd. 6, Festkörper<br />
(1992); Abb.6.87].<br />
Erwartung:<br />
|U H | = R H<br />
I x<br />
H B =<br />
I D · B<br />
e · n(U GS ) · D(U GS ) =<br />
I D · B<br />
Q S (U GS )<br />
(1.91)<br />
Source-Drain-Strom: I x = I D ,<br />
Dicke des SD-Kanals: H = D(U GS )<br />
(abhängig von Gate-Spannung U GS )<br />
magnetische Induktion: B,<br />
Ladungsträgerdichte im SD-Kanal: n(U GS )<br />
(abhängig von Gate-Spannung U GS )<br />
Flächenladungsdichte im SD-Kanal: Q S (U GS ) = e · n(U GS ) · D(U GS )<br />
d.h. mit steigender Gate-Spannung U GS sollte aufgr<strong>und</strong> der steigenden Ladungsträgerdichte<br />
Q S im SD-Kanal der <strong>Hall</strong>-Widerstand fallen, gemäß |U H | ∝ Q −1<br />
S .
<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 93<br />
Messergebnis: 3,4<br />
Abb. 1.76: <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> (nach von Klitzing et al.). Topologie der MOS-Probe <strong>und</strong> Ergebnisse<br />
[aus Bergmann-Schaefer, Lehrbuch der Experimentalphysik, Bd. 6, Festkörper (1992);<br />
Abb.6.88].<br />
<strong>Hall</strong>-Widerstand fällt in der Tat mit steigender Gate-Spannung, aber<br />
⇒ Plateaus in <strong>Hall</strong>-Widerstand<br />
U H<br />
I D<br />
=<br />
B<br />
Q S (U DS ) = 1 i<br />
h<br />
, i = 1, 2, 3 . . .<br />
e2 <strong>Effekt</strong> wird mittlerweile zur Definition des Ohms verwendet; h/e 2 = 25.8 kΩ<br />
weitere Beobachtung:<br />
der longitudinale Widerstand ∆U/I D wird sehr klein bei Werten für U GS bei denen der<br />
<strong>Hall</strong>-Widerstand konstant ist (auf den Plateaus);<br />
∆U/I D ist maximal gerade im Übergang von einem Plateau zum nächsten.<br />
3 K. von Klitzing, G. Dorda, M. Pepper, New Method for High-Accuracy Determination of the<br />
Fine-Structure Constant Based on Quantized <strong>Hall</strong> Resistance, Phys. Rev. Lett. 45, 494 (1980).<br />
4 K. von Klitzing erhielt 1985 den Nobelpreis in Physik für die Entedeckung des <strong>Quanten</strong>halleffetks.
94 Kapitel 1 Halbleiter<br />
Anordnung mit GaAlAs/GaAs-Heterostruktur:<br />
Abb. 1.77:<br />
GaAsAs/GaAs-<br />
Heteroübergang<br />
zur Messung des<br />
<strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<br />
<strong>Effekt</strong>es (nach<br />
Störmer [13]).<br />
[aus Bergmann-<br />
Schaefer, Lehrbuch<br />
der Experimentalphysik,<br />
Bd. 6,<br />
Festkörper (1992);<br />
Abb.6.89].<br />
Die Phasengrenze des Heteroübergangs ist weniger ”rauh” als die Si/SiO 2 Phasengrenze<br />
des MOS-FETs<br />
→ Vermeidet die Ausbildung parasitärer Ladungen an der Grenzfläche<br />
⇒ noch deutlicher ausgeprägte Stufenstuktur;<br />
wird weiter verbessert durch Messung bei sehr tiefer Temperatur:<br />
Abb. 1.78: <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<br />
<strong>Effekt</strong> am AlGaAs/GaAs-<br />
Heteroübergang<br />
(siehe auch Abb. 6.58<br />
<strong>und</strong> 6.89 in Bergmann-<br />
Schäfer(6)).<br />
Oben: Tieftemperatur-<br />
<strong>Hall</strong>-Widerstand | U H /I |,<br />
unten: Tieftemperatur-<br />
Längswiderstand | ∆U/I |,<br />
beide als Funktion der<br />
magnetischen Induktion B<br />
(nach Tsui et al. [23] ).<br />
[aus Bergmann-Schaefer,<br />
Lehrbuch der Experimentalphysik,<br />
Bd. 6, Festkörper<br />
(1992); Abb.6.90].
<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 95<br />
Zur Erklärung des <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong>es<br />
• Problemstellung:<br />
2-dimensionale Bewegung von Elektronen<br />
im senkrechten Magnetfeld ⃗ B<br />
- Klassisch: Kreisbahnen mit Zyklotronfrequenz ω c = eB/m<br />
- <strong>Quanten</strong>mechanisch:<br />
Löse Schrödinger-Gleichung HΨ = EΨ für ein freies Elektron im Magnetfeld (ohne<br />
Spin)<br />
1<br />
2m ∗ (−i⃗ ∇ − e ⃗ A) 2 Ψ = EΨ<br />
Mit ⃗ B = rot ⃗ A gilt für das Vektorpotential ⃗ A eines gleichförmigen Magnetfelds ⃗ B = Bê z<br />
in der Landau-Eichung ⃗ A = −Byê x .<br />
Damit gilt für den Hamilton-Operator<br />
( )<br />
H = − 2 ∂<br />
2<br />
2m ∂y + ∂2<br />
+ 1 [<br />
−i ∂ ] 2<br />
2 ∂z 2 2m ∂x − eyB<br />
Dieses Problem ist auf das Problem eines 2-dim. harmonischen Oszillator mit der Frequenz<br />
ω c zurückführbar. 5<br />
Dies liefert die diskrete Energieeigenwerte [im (k x , k y )-Raum]<br />
E i = (i − 1 2 )ω c + 2 k 2 z<br />
2m<br />
; i = 1, 2 . . . (1.92)<br />
Der Term 2 k 2 z/2m beschreibt die kinetische Energie der Bewegung ’freier’ Elektronen<br />
in z-Richtung, parallel zum Magnetfeld.<br />
Im 2DEG ist diese Bewegung unterdrückt (in unserem Fall für ein Magnetfeld senkrecht<br />
zur Grenzfläche des MOS-FETs, bzw. der Heterostruktur in Abb.1.77).<br />
Damit gilt für die Energie der Elektronen<br />
E i = (i − 1 2 )ω c ; i = 1, 2 . . . (1.93)<br />
Im 2DEG bezeichnet man diese diskreten Energiewerte auch als die Landau-Niveaus.<br />
5 siehe z.B. Kittel, Einführung in die Festköperphysik (1999), S.288.
96 Kapitel 1 Halbleiter<br />
⇒ das für B = 0 kontinuierliche Spektrum des 2DEG<br />
mit D(E) = L 2 m/(2π 2 ) = const<br />
kollabiert im starken Magnetfeld (ω c τ ≫ 1) auf die diskreten Landau-Niveaus !<br />
gesucht: Zahl der Zustände/Landau-Niveau<br />
Abb. 1.79: 2-dimensionales<br />
<strong>Elektronengas</strong>: Auspaltung<br />
der kontinuierlichen Energieniveaus<br />
(Nullfeld) auf die<br />
Landau-Niveaus im Magnetfeld<br />
∆N = Zustandsdichte (B = 0) · Intervallbreite ω c<br />
= L2 m<br />
2π · ω 2 c<br />
= L2 m<br />
2π · eB 2 m = 1 L 2<br />
2π l 2 B<br />
mit<br />
l B ≡<br />
√<br />
<br />
eB = ′′ Landau − Länge ′′<br />
= L 2 e h B (1.94)<br />
Anmerkung:<br />
Die Zahl der Zustände ∆N ist auf jedem Landau-Niveau gleich.<br />
Die Landau-Länge l B ist gerade der klassische Radius der Elektronenbahn auf dem<br />
ersten Landau-Niveau. 6<br />
Die von der ”klassischen” Bahn eingeschlossene Fläche ist πl 2 B .<br />
Im Magnetfeld B ist damit der magnetische Fluss durch diese Fläche gerade<br />
Φ = B · π · /(eB) = 1 2 h/e ≡ Φ 0/2 (mit Φ 0 ≡ h/e = 4.14 · 10 −15 Vs/m 2 ).<br />
Allgemein folgt für das i-te Landau-Niveau ein klassischer Bahnradius √ 2i − 1 · l B .<br />
Der von diesen Bahnen eingeschlossene magnetische Fluss ist Φ = 2i−1<br />
2 Φ 0.<br />
6 Mit i = 1 gilt E = ω c /2 = mv 2 /2 = mω 2 c r 2 /2 ⇒ r 2 = /(eB) = l 2 B
<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 97<br />
Die Gleichung (1.93) beschreibt auch die Quantisierung der Zyklotron-Bahnbewegung<br />
im 2-dim. ⃗ k-Raum:<br />
Mit<br />
E i = (i − 1 2 )ω c = 2 k 2 i<br />
2m<br />
folgt für die Fläche der Orbits im ⃗ k-Raum (mit ω c = eB/m <strong>und</strong> Φ 0 = h/e)<br />
A i = πk 2 i = π 2m<br />
2 (i − 1 2 )ω c = Φ 0 · B(i − 1 2 ) .<br />
D.h. die Fläche der Orbits im ⃗ k-Raum ist quantisiert in ganzahligen Vielfachen von<br />
Φ 0 · B = A i+1 − A n .<br />
Die Zahl der Zustände in jedem Landau-Niveau, bezogen auf die Einheitsfläche<br />
(Flächendichte je Landau-Niveau) ist<br />
∆N<br />
L 2 = e h B = B Φ 0<br />
(1.95)<br />
Wenn nun das Fermi-Niveau zwischen zwei Landau-Niveaus liegt dann verhält sich das<br />
2DEG wie ein Halbleiter mit einer Energielücke ω c .<br />
Für genügend tiefe Temperaturen <strong>und</strong>/oder starke Magnetfelder (ω c ∝ B) gilt dann<br />
k B T ≪ ω c , so dass das 2DEG isolierend wird, d.h. die Diagonalelemente des Leitfähigkeitstensors<br />
σ xx , σ yy gehen gegen Null.<br />
Wir betrachten im folgenden die Situation T = 0.<br />
Die Zahl der Elektronen im 2DEG N e sei so, dass E i < E F < E i+1 ,<br />
d.h. das Fermi-Niveau liege gerade über dem i-ten Landau-Niveau.<br />
Damit gilt mit (1.94) dass die Gesamtzahl der Elektronen in den i besetzten Landau-<br />
Niveaus gegeben ist durch<br />
N e = i · ∆N = i · L 2 B Φ 0<br />
= i · Φ<br />
Φ 0<br />
= i · N Φ (1.96)<br />
Hierbei ist N Φ ≡ Φ/Φ 0 die Anzahl an Flussquanten <strong>und</strong> Φ = B · L 2 der Gesamtfluss<br />
in der Struktur.<br />
D.h. wenn i Landau-Niveaus vollständig gefüllt sind ist die Zahl N e der besetzten<br />
Zustände gerade i mal der Zahl der Flussquanten.<br />
Der Füllfaktor definiert sich als<br />
ν ≡ N e<br />
N Φ<br />
=<br />
F lächendichte der Elektronen<br />
F lächendichte der F lussquanten<br />
(1.97)<br />
D.h. bei vollständig besetzten Landau-Niveaus ist der Füllfaktor gerade die Zahl der<br />
vollständig besetzten Niveaus.<br />
Der inverse Wert ν −1 beschreibt die durchschnittliche Zahl von Flussquanten pro Elektron<br />
im 2DEG.<br />
Für ν ≥ 1: Regime des integralen QHE<br />
Für ν ≤ 1: Regime des fraktionalen QHE
98 Kapitel 1 Halbleiter<br />
• wachsende Gate-Spannung U GS (bei B = const.)<br />
→ Ladungsträgerdichte steigt mit U GS<br />
→ E F wandert über Landau-Niveaus<br />
→ Flächendichte der besetzten Zustände nimmt um ∆N/L 2 = eB/h = B/Φ 0<br />
bei Überqueren eines Niveaus zu.<br />
→ Elektronendichte:<br />
Q S (U GS ) = e · Ne<br />
L = e · i B = i e2<br />
· B , i = 1, 2, 3 . . .<br />
2 Φ 0 h<br />
⇒ <strong>Hall</strong>-Widerstand<br />
U H<br />
I D<br />
=<br />
B<br />
Q S (U GS ) = 1 i · h<br />
e 2<br />
• wachsendes Magnetfeld B (bei Gate-Spannung U GS = const.)<br />
Die Fermi-Energie bleibt konstant;<br />
Der Abstand der Landau-Niveaus erhöht sich<br />
⇒ Landau-Niveaus schieben sich durch E F ,<br />
dadurch ändert sich deren Besetzung<br />
Linearer Anstieg des <strong>Hall</strong>-Widerstands zerfällt in Plateaus (s. Abb.1.78).
<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />
<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 99<br />
an Plateaus von U H → keine ungefüllten Landau-Niveaus<br />
→ kein Beitrag zum (longitudinalen) Stromtransport<br />
es gilt (in 2D)<br />
d.h.:<br />
analog:<br />
(<br />
jx<br />
)<br />
=<br />
j y<br />
⃗j = ⃗σ · ⃗E ,<br />
( )( )<br />
σxx σ xy Ex<br />
σ yx σ yy E y<br />
⃗E = ⃗ ⃗ρ · ⃗j<br />
(<br />
⃗⃗ρ<br />
) −1<br />
= ⃗σ =<br />
( )<br />
1 ρyy − ρ xy<br />
ρ xx ρ yy − ρ xy ρ yx −ρ yx ρ xx<br />
an Plateaus: ρ xx = ρ yy = 0 ⇒ auch σ xx , σ yy = 0<br />
Realistische Festkörper (inkl. Unordnung, Streuung)<br />
→ Verbreiterung der Landau-Niveaus zu Peaks<br />
Mit steigendem Magnetfeld bleibt der <strong>Hall</strong>-Widerstand konstant solange E F sich zwischen<br />
Landau-Niveaus befindet.<br />
Wandert ein (verbreitertes) Landau-Niveau in die Fermi-Kante<br />
→ die Besetzung von beweglichen Ladungsträgern im Fermi-Niveau<br />
ändert sich kontinuierlich<br />
→ Widerstandplateaus sollten stark ausgeschmiert sein.
100 Kapitel 1 Halbleiter<br />
Es zeigt sich aber:<br />
• nur Zustände nahe Peak-Maximum sind über Festkörper delokalisiert<br />
• Plateaus erreicht, sobald alle delokalisierten Zustände besetzt<br />
→ gut ausgeprägte Plateaus<br />
• neben ganzzahligem QHE existiert auch fraktionaler QHE<br />
hier: i = 1/3, 2/3, . . . 2/5, 3/5, 4/5, . . .<br />
Theorie (R.B. Laughlin)<br />
→ Ausbilden eines kollektiven Vielteilchenzustands<br />
mit gebrochenzahligen Ladungen<br />
(z.B. 1 · e bei 1 -zahligen Niveaus, etc.)<br />
3 3<br />
Teilchen gebildet aus Elektronen +m Flussquanten h/e<br />
(m = 3 für 1 -zahligen Niveaus, etc.)<br />
3<br />
Weiter reduzierte Dimensionen<br />
durch Methoden der Nanostrukturierung herstellbar<br />
→ 1-dim <strong>Elektronengas</strong> (”<strong>Quanten</strong>drähte”)<br />
→ 0-dim ”e − -Gas” → ”<strong>Quanten</strong>punkte”<br />
”künstliche Atome”<br />
mit zahlreichen ungewöhnlichen Eigenschaften !<br />
→ Spezialvorlesungen über Halbleiterphysik