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1.8 Zweidimensionales Elektronengas und Quanten-Hall-Effekt

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<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />

<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 91<br />

<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />

<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong><br />

Ausbildung eines 2dim. <strong>Elektronengas</strong>es in → n-Kanal im MOSFET<br />

(2DEG) oder<br />

→ Potentialmulde bei<br />

Heteroübergängen<br />

typischer Potentialverlauf:<br />

→ Potentialtopf ∼ 10 nm dick;<br />

∼ Dreiecksform<br />

diskrete Energiebänder mit<br />

rein 2-dim. Bewegung in jedem Subband;<br />

falls k B T ≪ ∆E: nur Gr<strong>und</strong>zustand besetzt<br />

Zustandsdichte in 2 Dimensionen:<br />

Betrachtung äquivalent zur Herleitung der Zustandsdichte in 3 Dimensionen:<br />

Aus periodischen Randbedingungen für System das in 2 Dimensionen die Ausdehnung<br />

L besitzt:<br />

Zustände im Abstand 2π/L im 2-dim ⃗ k-Raum<br />

Zahl N(k), bzw. N(E) der besetzten Zustände bis zum (maximalen) k-Wert, bzw.<br />

Energie E = 2 k 2 /2m ist<br />

( ) 2 L<br />

N = 2 · · πk 2 = 2 · L2<br />

2π 4π · π · 2m<br />

2 · E = L2 m<br />

2 π E (<strong>1.8</strong>9)<br />

2<br />

↑<br />

Spin<br />

↑<br />

E = 2 k 2<br />

2m<br />

Damit gilt für die 2-dimensionale Zustandsdichte<br />

D(E) = dN<br />

dE = L2 m<br />

π 2 unabhängig von E (1.90)


92 Kapitel 1 Halbleiter<br />

Der <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong><br />

Entdeckung:<br />

K. v. Klitzing untersuchte 1980 die <strong>Hall</strong>-Spannung von Si-MOSFETs in hohen Magnetfeldern<br />

(B ≤ 18 T) <strong>und</strong> bei tiefen Temperaturen (T ≈ 1.5 K).<br />

Hierbei waren die n-Kanal-MOSFETs zusätzlich mit seitlich am Inversionskanal angebrachten<br />

<strong>Hall</strong>-Kontakten versehen<br />

Geometrie:<br />

Abb. 1.75: <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<br />

<strong>Effekt</strong>. Zuordnung von<br />

Geometrie <strong>und</strong> Spannung<br />

[aus Bergmann-Schaefer,<br />

Lehrbuch der Experimentalphysik,<br />

Bd. 6, Festkörper<br />

(1992); Abb.6.87].<br />

Erwartung:<br />

|U H | = R H<br />

I x<br />

H B =<br />

I D · B<br />

e · n(U GS ) · D(U GS ) =<br />

I D · B<br />

Q S (U GS )<br />

(1.91)<br />

Source-Drain-Strom: I x = I D ,<br />

Dicke des SD-Kanals: H = D(U GS )<br />

(abhängig von Gate-Spannung U GS )<br />

magnetische Induktion: B,<br />

Ladungsträgerdichte im SD-Kanal: n(U GS )<br />

(abhängig von Gate-Spannung U GS )<br />

Flächenladungsdichte im SD-Kanal: Q S (U GS ) = e · n(U GS ) · D(U GS )<br />

d.h. mit steigender Gate-Spannung U GS sollte aufgr<strong>und</strong> der steigenden Ladungsträgerdichte<br />

Q S im SD-Kanal der <strong>Hall</strong>-Widerstand fallen, gemäß |U H | ∝ Q −1<br />

S .


<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />

<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 93<br />

Messergebnis: 3,4<br />

Abb. 1.76: <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> (nach von Klitzing et al.). Topologie der MOS-Probe <strong>und</strong> Ergebnisse<br />

[aus Bergmann-Schaefer, Lehrbuch der Experimentalphysik, Bd. 6, Festkörper (1992);<br />

Abb.6.88].<br />

<strong>Hall</strong>-Widerstand fällt in der Tat mit steigender Gate-Spannung, aber<br />

⇒ Plateaus in <strong>Hall</strong>-Widerstand<br />

U H<br />

I D<br />

=<br />

B<br />

Q S (U DS ) = 1 i<br />

h<br />

, i = 1, 2, 3 . . .<br />

e2 <strong>Effekt</strong> wird mittlerweile zur Definition des Ohms verwendet; h/e 2 = 25.8 kΩ<br />

weitere Beobachtung:<br />

der longitudinale Widerstand ∆U/I D wird sehr klein bei Werten für U GS bei denen der<br />

<strong>Hall</strong>-Widerstand konstant ist (auf den Plateaus);<br />

∆U/I D ist maximal gerade im Übergang von einem Plateau zum nächsten.<br />

3 K. von Klitzing, G. Dorda, M. Pepper, New Method for High-Accuracy Determination of the<br />

Fine-Structure Constant Based on Quantized <strong>Hall</strong> Resistance, Phys. Rev. Lett. 45, 494 (1980).<br />

4 K. von Klitzing erhielt 1985 den Nobelpreis in Physik für die Entedeckung des <strong>Quanten</strong>halleffetks.


94 Kapitel 1 Halbleiter<br />

Anordnung mit GaAlAs/GaAs-Heterostruktur:<br />

Abb. 1.77:<br />

GaAsAs/GaAs-<br />

Heteroübergang<br />

zur Messung des<br />

<strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<br />

<strong>Effekt</strong>es (nach<br />

Störmer [13]).<br />

[aus Bergmann-<br />

Schaefer, Lehrbuch<br />

der Experimentalphysik,<br />

Bd. 6,<br />

Festkörper (1992);<br />

Abb.6.89].<br />

Die Phasengrenze des Heteroübergangs ist weniger ”rauh” als die Si/SiO 2 Phasengrenze<br />

des MOS-FETs<br />

→ Vermeidet die Ausbildung parasitärer Ladungen an der Grenzfläche<br />

⇒ noch deutlicher ausgeprägte Stufenstuktur;<br />

wird weiter verbessert durch Messung bei sehr tiefer Temperatur:<br />

Abb. 1.78: <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<br />

<strong>Effekt</strong> am AlGaAs/GaAs-<br />

Heteroübergang<br />

(siehe auch Abb. 6.58<br />

<strong>und</strong> 6.89 in Bergmann-<br />

Schäfer(6)).<br />

Oben: Tieftemperatur-<br />

<strong>Hall</strong>-Widerstand | U H /I |,<br />

unten: Tieftemperatur-<br />

Längswiderstand | ∆U/I |,<br />

beide als Funktion der<br />

magnetischen Induktion B<br />

(nach Tsui et al. [23] ).<br />

[aus Bergmann-Schaefer,<br />

Lehrbuch der Experimentalphysik,<br />

Bd. 6, Festkörper<br />

(1992); Abb.6.90].


<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />

<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 95<br />

Zur Erklärung des <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong>es<br />

• Problemstellung:<br />

2-dimensionale Bewegung von Elektronen<br />

im senkrechten Magnetfeld ⃗ B<br />

- Klassisch: Kreisbahnen mit Zyklotronfrequenz ω c = eB/m<br />

- <strong>Quanten</strong>mechanisch:<br />

Löse Schrödinger-Gleichung HΨ = EΨ für ein freies Elektron im Magnetfeld (ohne<br />

Spin)<br />

1<br />

2m ∗ (−i⃗ ∇ − e ⃗ A) 2 Ψ = EΨ<br />

Mit ⃗ B = rot ⃗ A gilt für das Vektorpotential ⃗ A eines gleichförmigen Magnetfelds ⃗ B = Bê z<br />

in der Landau-Eichung ⃗ A = −Byê x .<br />

Damit gilt für den Hamilton-Operator<br />

( )<br />

H = − 2 ∂<br />

2<br />

2m ∂y + ∂2<br />

+ 1 [<br />

−i ∂ ] 2<br />

2 ∂z 2 2m ∂x − eyB<br />

Dieses Problem ist auf das Problem eines 2-dim. harmonischen Oszillator mit der Frequenz<br />

ω c zurückführbar. 5<br />

Dies liefert die diskrete Energieeigenwerte [im (k x , k y )-Raum]<br />

E i = (i − 1 2 )ω c + 2 k 2 z<br />

2m<br />

; i = 1, 2 . . . (1.92)<br />

Der Term 2 k 2 z/2m beschreibt die kinetische Energie der Bewegung ’freier’ Elektronen<br />

in z-Richtung, parallel zum Magnetfeld.<br />

Im 2DEG ist diese Bewegung unterdrückt (in unserem Fall für ein Magnetfeld senkrecht<br />

zur Grenzfläche des MOS-FETs, bzw. der Heterostruktur in Abb.1.77).<br />

Damit gilt für die Energie der Elektronen<br />

E i = (i − 1 2 )ω c ; i = 1, 2 . . . (1.93)<br />

Im 2DEG bezeichnet man diese diskreten Energiewerte auch als die Landau-Niveaus.<br />

5 siehe z.B. Kittel, Einführung in die Festköperphysik (1999), S.288.


96 Kapitel 1 Halbleiter<br />

⇒ das für B = 0 kontinuierliche Spektrum des 2DEG<br />

mit D(E) = L 2 m/(2π 2 ) = const<br />

kollabiert im starken Magnetfeld (ω c τ ≫ 1) auf die diskreten Landau-Niveaus !<br />

gesucht: Zahl der Zustände/Landau-Niveau<br />

Abb. 1.79: 2-dimensionales<br />

<strong>Elektronengas</strong>: Auspaltung<br />

der kontinuierlichen Energieniveaus<br />

(Nullfeld) auf die<br />

Landau-Niveaus im Magnetfeld<br />

∆N = Zustandsdichte (B = 0) · Intervallbreite ω c<br />

= L2 m<br />

2π · ω 2 c<br />

= L2 m<br />

2π · eB 2 m = 1 L 2<br />

2π l 2 B<br />

mit<br />

l B ≡<br />

√<br />

<br />

eB = ′′ Landau − Länge ′′<br />

= L 2 e h B (1.94)<br />

Anmerkung:<br />

Die Zahl der Zustände ∆N ist auf jedem Landau-Niveau gleich.<br />

Die Landau-Länge l B ist gerade der klassische Radius der Elektronenbahn auf dem<br />

ersten Landau-Niveau. 6<br />

Die von der ”klassischen” Bahn eingeschlossene Fläche ist πl 2 B .<br />

Im Magnetfeld B ist damit der magnetische Fluss durch diese Fläche gerade<br />

Φ = B · π · /(eB) = 1 2 h/e ≡ Φ 0/2 (mit Φ 0 ≡ h/e = 4.14 · 10 −15 Vs/m 2 ).<br />

Allgemein folgt für das i-te Landau-Niveau ein klassischer Bahnradius √ 2i − 1 · l B .<br />

Der von diesen Bahnen eingeschlossene magnetische Fluss ist Φ = 2i−1<br />

2 Φ 0.<br />

6 Mit i = 1 gilt E = ω c /2 = mv 2 /2 = mω 2 c r 2 /2 ⇒ r 2 = /(eB) = l 2 B


<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />

<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 97<br />

Die Gleichung (1.93) beschreibt auch die Quantisierung der Zyklotron-Bahnbewegung<br />

im 2-dim. ⃗ k-Raum:<br />

Mit<br />

E i = (i − 1 2 )ω c = 2 k 2 i<br />

2m<br />

folgt für die Fläche der Orbits im ⃗ k-Raum (mit ω c = eB/m <strong>und</strong> Φ 0 = h/e)<br />

A i = πk 2 i = π 2m<br />

2 (i − 1 2 )ω c = Φ 0 · B(i − 1 2 ) .<br />

D.h. die Fläche der Orbits im ⃗ k-Raum ist quantisiert in ganzahligen Vielfachen von<br />

Φ 0 · B = A i+1 − A n .<br />

Die Zahl der Zustände in jedem Landau-Niveau, bezogen auf die Einheitsfläche<br />

(Flächendichte je Landau-Niveau) ist<br />

∆N<br />

L 2 = e h B = B Φ 0<br />

(1.95)<br />

Wenn nun das Fermi-Niveau zwischen zwei Landau-Niveaus liegt dann verhält sich das<br />

2DEG wie ein Halbleiter mit einer Energielücke ω c .<br />

Für genügend tiefe Temperaturen <strong>und</strong>/oder starke Magnetfelder (ω c ∝ B) gilt dann<br />

k B T ≪ ω c , so dass das 2DEG isolierend wird, d.h. die Diagonalelemente des Leitfähigkeitstensors<br />

σ xx , σ yy gehen gegen Null.<br />

Wir betrachten im folgenden die Situation T = 0.<br />

Die Zahl der Elektronen im 2DEG N e sei so, dass E i < E F < E i+1 ,<br />

d.h. das Fermi-Niveau liege gerade über dem i-ten Landau-Niveau.<br />

Damit gilt mit (1.94) dass die Gesamtzahl der Elektronen in den i besetzten Landau-<br />

Niveaus gegeben ist durch<br />

N e = i · ∆N = i · L 2 B Φ 0<br />

= i · Φ<br />

Φ 0<br />

= i · N Φ (1.96)<br />

Hierbei ist N Φ ≡ Φ/Φ 0 die Anzahl an Flussquanten <strong>und</strong> Φ = B · L 2 der Gesamtfluss<br />

in der Struktur.<br />

D.h. wenn i Landau-Niveaus vollständig gefüllt sind ist die Zahl N e der besetzten<br />

Zustände gerade i mal der Zahl der Flussquanten.<br />

Der Füllfaktor definiert sich als<br />

ν ≡ N e<br />

N Φ<br />

=<br />

F lächendichte der Elektronen<br />

F lächendichte der F lussquanten<br />

(1.97)<br />

D.h. bei vollständig besetzten Landau-Niveaus ist der Füllfaktor gerade die Zahl der<br />

vollständig besetzten Niveaus.<br />

Der inverse Wert ν −1 beschreibt die durchschnittliche Zahl von Flussquanten pro Elektron<br />

im 2DEG.<br />

Für ν ≥ 1: Regime des integralen QHE<br />

Für ν ≤ 1: Regime des fraktionalen QHE


98 Kapitel 1 Halbleiter<br />

• wachsende Gate-Spannung U GS (bei B = const.)<br />

→ Ladungsträgerdichte steigt mit U GS<br />

→ E F wandert über Landau-Niveaus<br />

→ Flächendichte der besetzten Zustände nimmt um ∆N/L 2 = eB/h = B/Φ 0<br />

bei Überqueren eines Niveaus zu.<br />

→ Elektronendichte:<br />

Q S (U GS ) = e · Ne<br />

L = e · i B = i e2<br />

· B , i = 1, 2, 3 . . .<br />

2 Φ 0 h<br />

⇒ <strong>Hall</strong>-Widerstand<br />

U H<br />

I D<br />

=<br />

B<br />

Q S (U GS ) = 1 i · h<br />

e 2<br />

• wachsendes Magnetfeld B (bei Gate-Spannung U GS = const.)<br />

Die Fermi-Energie bleibt konstant;<br />

Der Abstand der Landau-Niveaus erhöht sich<br />

⇒ Landau-Niveaus schieben sich durch E F ,<br />

dadurch ändert sich deren Besetzung<br />

Linearer Anstieg des <strong>Hall</strong>-Widerstands zerfällt in Plateaus (s. Abb.1.78).


<strong>1.8</strong> <strong>Zweidimensionales</strong> <strong>Elektronengas</strong><br />

<strong>und</strong> <strong>Quanten</strong>-<strong>Hall</strong>-<strong>Effekt</strong> 99<br />

an Plateaus von U H → keine ungefüllten Landau-Niveaus<br />

→ kein Beitrag zum (longitudinalen) Stromtransport<br />

es gilt (in 2D)<br />

d.h.:<br />

analog:<br />

(<br />

jx<br />

)<br />

=<br />

j y<br />

⃗j = ⃗σ · ⃗E ,<br />

( )( )<br />

σxx σ xy Ex<br />

σ yx σ yy E y<br />

⃗E = ⃗ ⃗ρ · ⃗j<br />

(<br />

⃗⃗ρ<br />

) −1<br />

= ⃗σ =<br />

( )<br />

1 ρyy − ρ xy<br />

ρ xx ρ yy − ρ xy ρ yx −ρ yx ρ xx<br />

an Plateaus: ρ xx = ρ yy = 0 ⇒ auch σ xx , σ yy = 0<br />

Realistische Festkörper (inkl. Unordnung, Streuung)<br />

→ Verbreiterung der Landau-Niveaus zu Peaks<br />

Mit steigendem Magnetfeld bleibt der <strong>Hall</strong>-Widerstand konstant solange E F sich zwischen<br />

Landau-Niveaus befindet.<br />

Wandert ein (verbreitertes) Landau-Niveau in die Fermi-Kante<br />

→ die Besetzung von beweglichen Ladungsträgern im Fermi-Niveau<br />

ändert sich kontinuierlich<br />

→ Widerstandplateaus sollten stark ausgeschmiert sein.


100 Kapitel 1 Halbleiter<br />

Es zeigt sich aber:<br />

• nur Zustände nahe Peak-Maximum sind über Festkörper delokalisiert<br />

• Plateaus erreicht, sobald alle delokalisierten Zustände besetzt<br />

→ gut ausgeprägte Plateaus<br />

• neben ganzzahligem QHE existiert auch fraktionaler QHE<br />

hier: i = 1/3, 2/3, . . . 2/5, 3/5, 4/5, . . .<br />

Theorie (R.B. Laughlin)<br />

→ Ausbilden eines kollektiven Vielteilchenzustands<br />

mit gebrochenzahligen Ladungen<br />

(z.B. 1 · e bei 1 -zahligen Niveaus, etc.)<br />

3 3<br />

Teilchen gebildet aus Elektronen +m Flussquanten h/e<br />

(m = 3 für 1 -zahligen Niveaus, etc.)<br />

3<br />

Weiter reduzierte Dimensionen<br />

durch Methoden der Nanostrukturierung herstellbar<br />

→ 1-dim <strong>Elektronengas</strong> (”<strong>Quanten</strong>drähte”)<br />

→ 0-dim ”e − -Gas” → ”<strong>Quanten</strong>punkte”<br />

”künstliche Atome”<br />

mit zahlreichen ungewöhnlichen Eigenschaften !<br />

→ Spezialvorlesungen über Halbleiterphysik

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